製品概要

高いクリーン度と安定したフィルター性能

ウェットエッチング/洗浄（WEC）やCMPなど半導体工場や、マイクロエレクトロニクスの製造、加工において、流体のクリーン性は重要です。半導体の微細化が進む中、コンタミネーションの効果的な抑制のために、ナノパーティクルの捕集が求められています。

高流量と高捕集効率の両立を可能にしたゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、延伸ポリテトラフルオロエチレン（ePTFE）メンブレンフィルターに使用され、生産性や歩留改善を可能にします。

厳しい品質要求のあるアプリケーションに対応するために、捕集効率や流量、品質を妥協することなく、フィルター製造メーカーに対して優れたフィルターメンブレンを提供することができます。半導体製造のような高捕集効率ろ過が必要とされる用途に理想的な製品です。ゴアの高捕集効率、高流量のメンブレンは、安定したフィルター性能、卓越したクリーン性を保証します。

数十年にわたるイノベーションと精密ろ過技術における知見

ePTFE製造とメンブレンの微細構造に関する知見により、メンブレンの高捕集効率と、生産性向上を可能にします。また、使用目的に応じて特定の性能を付与するために、メンブレンをカスタマイズすることも可能です。

ゴアは単なるメンブレンの製造会社ではなく、精密ろ過のグローバル・エキスパートです。40年以上に渡り、ゴアは空気、ガス、液体、粒子のろ過ソリューションを提供し、半導体やマイクロエレクトロニクス製造のクリーン化プロセスにおいて、コスト削減、歩留改善に貢献してきた実績があります。

ゴアは、最先端の半導体製造やマイクロエレクトロニクスの製造プロセスに適合した、高品質、高性能、高信頼を実現するメンブレンにより、業界標準を確立し続けています。半導体のさらなる微細化に伴い、フィルターメーカーが新規ニーズへの対応や歩留向上といった課題を解決できるよう、メンブレンの開発を今後も続けていきます。

製品一覧

ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、研究開発とフィールド試験を通じ、様々な厳しいアプリケーションや精密ろ過フィルターに使用できるよう、製品ラインナップを広げてきました。幅広い精密ろ過孔径のメンブレンロールの提供が可能で、高捕集効率と高流量を備えた高性能フィルターの迅速な開発をサポートします。また、お客様の用途に合わせたメンブレンディスクも提供しています。

ゴアのグローバルサプライチェーンにより、アジア、アメリカなどのあらゆる地域のお客様にゴアの専門知識を共有し、変化の早い業界での厳しい納期に合わせて、ePTFEメンブレンを供給することが可能です。

材料構成公称孔径（μm）機能と用途
疎水性
メンブレン0.015〜10薬液や 溶剤への高い耐性が要求される用途
PPネットラミネート0.1〜1.0ラミネートによる強度向上
親水性
メンブレン0.1〜10純水や水系薬液

メンブレンの詳細については、お問い合わせください。

用途

40年以上にわたり、ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、あらゆる液体ろ過製品に使用されてきた実績があります。

  • 半導体製造プロセス：ゴアのメンブレンは、ロジックやメモリーの製造プロセスにおいて、ナノパーティクルや有害なコンタミネーションのろ過を実現しています。ゴアのメンブレンを使用したフィルターは、ウエハー洗浄装置で使用され、ディフェクト低減に貢献しています。既存のあらゆるフィルター製品を上回る高捕集効率と高流量のベストコンビネーションにより、生産効率を損なわず、歩留向上を可能にします。
  • マイクロエレクトロニクス製造： LED、OLEDなどフラットパネルディスプレイ(FPD)やその他のマイクロエレクトロニクス製品の製造において、高歩留と低コスト生産を実現しています。センサーやその他マイクロエレクトロニクス製品においても、安定したフィルター性能と高品質を提供しています。
  • 高純度薬液の製造：耐薬品性に優れたePTFEメンブレンは、半導体グレードの薬液製造において、薬液中のパーティクルを低減し、高クリーンな薬液を実現しています。

信頼性の高い精密ろ過メンブレンをお探しの場合は、 お問い合わせ下さい。ニーズや要件に合わせたご提案をします。

特長とメリット

ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、厳しい環境条件で使用可能で高い品質要求に応える以下のような特長があります。

  • クリーンで低発塵なメンブレン
  • 優れた耐薬品性および耐熱性
  • 疎水性メンブレンと親水性メンブレン
  • 均一なメンブレン特性を持つユニークなePTFE微細構造
  • 公称孔径0.015μm〜10μmまでの幅広い製品群
  • ロールやロット間での安定したメンブレン品質

ゴアの卓越したメンブレンは、半導体やマイクロエレクトロニクスの製造プロセスにおける信頼性を保証し、以下のようなメリットをフィルターメーカーに提供します。

  • 一定の捕集効率において、高流量を実現
  • 一貫した高品質と安定したフィルター性能
  • ナノパーティクルやコンタミネーション を確実にろ過
  • ウェーハ欠陥の低減と歩留の向上
  • 幅広い用途での実績と長年にわたる信頼性

詳しい製品の特長については、お問い合わせください。

購入方法

ゴアは、半導体製造、マイクロエレクトロニクスの製造プロセス、高純度薬液の製造に使用されるオールフッ素フィルターにて、高性能、高品質、高信頼性を実現するメンブレンの業界標準を確立し続けています。孔径、捕集効率、流量など、用途に合わせてカスタマイズ可能なメンブレンロールを提供します。

ゴア® マイクロフィルトレーションメディア製品に関する詳細、またはご注文については、お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせ

»ゴアのテクノロジーとePTFEに関する詳細

関連資料

半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセス用 GORE® マイクロフィルトレーションメディア

データシート： 半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセス用　GORE®マイクロフィルトレーションメディア

データシート,

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最新ニュース

プレスリリース

W. L. GORE & Associates: 酸化チタン微粉砕機・乾燥機用フィルターバッグ「ゴア® ロー・ドラッグ フィルターバッグ」を発表

公開日： 2021年10月1日

W. L. Gore & Associates（以下、ゴア）は、酸化チタン製造における微粉砕機（マイクロナイザー）および乾燥機のオペレーションに使用されるゴア® ロー・ドラッグ フィルターバッグを発表しました。過去5年間、ゴア独自の「ゴア® ロー・ドラッグ フィルターバッグ」テクノロジーは、酸化チタン製品の輸送・梱包など幅広い製品回収用途において、エネルギーコスト削減のソリューションを提供してきました。そして今、この技術は、高温パルスジェット酸化チタンアプリケーションに拡大されています。

イベント

「エコプロOnline2020」出展のお知らせ

2020年11月25日 - 2020年11月28日

日本ゴアは、11月25日より3日間開催されます、エコプロOnline2020に出展致します。今回は環境省とその他の企業6社と共同出展致します。ゴアのユニークな水銀対策技術について詳しく解説しております。解説動画もございますので、是非この機会にご参加ください。

プレスリリース

ゴア、パルスジェット式カーボンブラック集塵機向けにゴア® ロー・ドラッグ フィルターバッグを発表

公開日： 2020年1月21日

日本ゴア合同会社（以下ゴア）は、パルスジェット式カーボンブラック集塵機向けのゴア® ロー・ドラッグ フィルターバッグを発表しました。ゴア独自のゴア ロー・ドラッグ フィルターバッグ技術は、過去2年間にわたり逆洗式カーボンブラック集塵機向けに持続可能でトータルコストの低いソリューションを提供してきました。今回の新製品により、この技術のメリットがパルスジェット式カーボンブラック集塵機にも広がります。

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