概要

半導体・液晶製造工程において、不純物を発生せず高い耐薬品性という特長を持つePTFEは要求される機能に合わせてモジュール化され、分離精製用途に数多く使用されています。 オゾネーションモジュールは異物混入がなく、オゾン濃度の高い超純水を連続生成します。また、脱気モジュールは製造ラインで使用される薬液から溶存ガスを除去します。 特殊な用途だけでなく、室内空調においても、防水透湿性能を活かした加湿エレメントが使用され、年間を通して室内調湿に威力を発揮しています。


オールフッ素樹脂製脱気モジュール

オールフッ素樹脂製脱気モジュールは、非多孔質の高機能膜を使うことにより、液体に溶けたガスを拡散除去し、脱気することができます。接液部をすべてフッ素樹脂で構成したモジュールは、不純物とは無縁の処理を実現し、半導体やフラットパネルの製造工程ではマイクロバブルの発生を抑制し、製造歩留まりの向上に役立ちます。また、耐薬品性・耐熱性にも優れ、レジスト、現像液、シンナー、有機溶剤等の脱気・脱泡を工程内で連続しておこなうことができます。近年は塗布プロセスの用途でも採用が増えています。

resin degassing

オゾネーションモジュール

ゴア® オゾネーションモジュールは水を通さず、気体だけを通過させるePTFEの特殊機能膜を使用しており、膜の1次側にオゾンガスを、2次側に超純水を流すだけで、効率よく気液を接触させることが可能で、高濃度のオゾン水を、連続安定的に泡を混入させることなく簡単に生成することができます。 また、接液部はすべてフッ素樹脂で構成されているため、耐オゾン性に非常に優れていて、メタル、有機物等不純物の溶出がなく半導体・LCDパネルなどの精密洗浄に最適です。

ozonation

透湿膜式加湿エレメント

透湿膜式加湿エレメントは、ePTFEの疎水性の多孔膜を介した気体と液体の間接接触により、空気と液体の水蒸気分圧差に応じたクリーンな自己制御加湿を 実現します。長寿命で水の利用効率が高く、大手空調機メーカーにも採用されています。また、この独自技術を応用したエレメントは、液体の気化熱を利用した 空気冷却、ガス除去、ガス発生の効果が期待されています。

humidifier