モジュール製品
ePTFEの気体透過性、濾過分離性、および非発塵性を活かした高精度の分離精製機能をもつモジュール製品です。半導体・液晶製造装置のガス溶解が必要とされる用途をはじめビル空調用の加湿エレメントにも使用されています。
概要
半導体・液晶製造工程において、不純物を発生せず高い耐薬品性という特長を持つePTFEは要求される機能に合わせてモジュール化され、分離精製用途に数多く使用されています。オゾネーションモジュールは異物混入がなく、オゾン濃度の高い超純水を連続生成します。特殊な用途だけでなく、室内空調においても、防水透湿性能を活かした加湿エレメントが使用され、年間を通して室内調湿に威力を発揮しています。
オゾネーションモジュール
ゴア® オゾネーションモジュールは水を通さず、気体だけを通過させるePTFEの特殊機能膜を使用しており、膜の1次側にオゾンガスを、2次側に超純水を流すだけで、効率よく気液を接触させることが可能で、高濃度のオゾン水を、連続安定的に泡を混入させることなく簡単に生成することができます。 また、接液部はすべてフッ素樹脂で構成されているため、耐オゾン性に非常に優れていて、メタル、有機物等不純物の溶出がなく半導体・LCDパネルなどの精密洗浄に最適です。
透湿膜式加湿エレメント
透湿膜式加湿エレメントは、ePTFEの疎水性の多孔膜を介した気体と液体の間接接触により、空気と液体の水蒸気分圧差に応じたクリーンな自己制御加湿を 実現します。長寿命で水の利用効率が高く、大手空調機メーカーにも採用されています。また、この独自技術を応用したエレメントは、液体の気化熱を利用した 空気冷却、ガス除去、ガス発生の効果が期待されています。
