半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセス用マイクロフィルトレーションメディア

ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、半導体製造のようなクリティカルな用途において必要不可欠です。ゴア® マイクロフィルトレーションメンブレンは、フィルターのコア部材として高い性能を発揮する製品です。

製品概要

ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、半導体製造のような厳しい用途において極めて重要な役割を担っています。高い熱耐久性、耐薬品性を発揮するとともに、一定の流量を保持しつつ、最高の捕集性能を有しています。ゴアのグローバルサプライチェーンは、半導体産業における厳しい品質要求に常に応えることができます。

テクノロジー

ゴア® マイクロフィルトレーションメディアは、耐薬品性および耐熱性に優れた延伸ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)を使用し、何十億もの細孔が相互に連結した、連続フィブリルからなるミクロ構造を持っています。半導体製造のような高捕集効率ろ過が必要とされるアプリケーションにとって理想的な製品となっています。

主な特長と利点

  • クリーンで低発塵な表面
  • 高い耐薬品性および耐熱性
  • 一定の捕集効率において、高流量を実現
  • 均一なメンブレン特性
  • 優れたパーティクル捕集性能
  • ロット間での安定した品質
  • 安定した性能
  • 30年以上にわたる技術革新と知見
ゴア® メディアは、メンブレン、ラミネート品の両方をご用意しています。

製品

ゴア® メディアは、メンブレン、ラミネート品の両方をご用意しています。ラミネート品は、サポート層の追加によって、取扱いを容易にし、強度を高めることが可能です。メンブレン、ラミネート品はいずれも、さまざまなフィルター形態に加工することができます。

メンブレン特性

タイプ 疎水性
捕集性能 公称孔径0.03µm~10µm
流量 メンブレンによって幅広い流量、通気量に対応

 

ラミネート品特性

ラミネート品は、不織布のサポート材にePTFE層をラミネートしています。ほとんどのメンブレンはラミネート品として提供でき、さまざまなサポート材を選ぶことが可能です。

タイプ 疎水性
捕集性能 公称孔径0.03µm~10µm
流量 メンブレンによって幅広い流量、通気量に対応
サポート材 用途ごとの要件に応じて選択が可能

関連資料

本製品は、工業製品に限定してご使用ください。

食品、医薬品、化粧品または医療機器の製造、加工、包装工程にはご使用いただけません。