半導体・マイクロエレクトロニクス

ゴアの技術は、高精度な製造プロセス全体の改善に貢献します。

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半導体の小型化が進むなか、よりクリーンな製造プロセスを求めるニーズが高まっています。ゴアは、クリーンなプロセスを維持するためのガスケット、フィルター、ケーブルを提供しています。また、EUVリソグラフィにおける新たな開発を通じて、未来に備えるメーカーをサポートします。

概要

マイクロチップはどこまで小さくなるのでしょうか?過去数十年の間、スマートフォン、ノートPC、LEDスクリーンをはじめとする電子機器向けのマイクロチップはますます小型化してきました。半導体も各メーカーの技術力によって小型化が進められました。大幅な精密化に伴って、半導体の線幅を測る単位がかつてのマイクロメートルからナノメートルへと一段階小さくなったにもかかわらず、処理能力とメモリーはむしろ上がっています。

こうした技術発展を背景に、ゴードンE.ムーアは1965年、「半導体集積回路のトランジスター数は2年ごとに2倍になる」との経験則を提唱しました。この主張はムーアの法則と呼ばれ、長年にわたって実現してきました。

しかし、ムーアの法則は今後も通用するでしょうか? 発展を失速させる問題が2つあります。1つは一層の小型化と強力化を進めた半導体の製造コストの問題、もう1つは極めてクリーンであることが求められる製造加工プロセスの問題です。微細な半導体は、極小粒子の水への混入により汚染される可能性があります。こうした不具合によって、歩留まりの悪化やメンテナンスによるコスト発生の恐れがあります。

つまり、 半導体の回路線幅が細くなるほど、生産コストと製造プロセスの課題は増大するのです。

ゴアは、テクノロジー企業の長年のパートナーとして、こうした問題に共に対処してきました。高フローフィルター、マイクロフィルトレーションメディア、ケーブル、さまざまなシールドソリューションを提供することによって、シームレスで確実な製造加工プロセスの維持をサポートします。ゴアのPTFE材料は、化学的に不活性で耐久性が高く、半導体メーカーが求める確かな純度を実現します。

テクノロジー業界が求めるクリーンな環境と化学的適合性は、PTFEをはじめとするフッ素ポリマーなしには実現できません。半導体の一層の小型化を目指すなか、メーカーはPTFEメンブレンを使った技術革新によってマイクロチップのスマート化、高速化、小型化を進める必要があるでしょう。こうした技術の実現を、私たちはサポートします。

今後の展開:EUVリソグラフィ用ケーブル

半導体分野において次に注目されているのは、極端紫外線(EUV)リソグラフィです。これは、半導体のウェハーにさらに多くの電気回路を配置する技術です。リソグラフィシステムでは、光がシリコンに像を転写します。カメラが光を利用してフィルムに像を転写するのと同じです。EUVリソグラフィは未来のコンピューターチップ技術と見なされており、短波長を作り出すことによりチップ内の電気回路を増やすことができます。

半導体業界にとって、この新たな手法にはまだ解決すべき課題が残っています。ゴアは長期的な視点で取り組みを行っています。2009年、私たちは光学システムメーカーから長期的パートナー企業に任命され、EUVリソグラフィシステムを運用する超真空、低圧、超クリーン環境に最適なケーブルアセンブリを提供しています。

ゴアは、新EUVプロセス用ケーブルコネクターの開発に向けて、早い段階から投資を行ってきました。そのため、新手法を採用しようとするメーカーに対して、十分なサポートを行うことが可能です。ゴア® ケーブルは、粒子の発生を減らし、システムの性能と歩留まりを改善します。脱落がなく化学的に不活性なモデルは、クリーンルーム専用の設計となっています。EUVリソグラフィ用の新しいケーブルアセンブリは、ガス抜けの少なさが特長です。超真空環境においてコンピューターチップの曇りや汚染をもたらすガスの放出を防ぎます。こうしたケーブル製品の品質によって、ゴアはこの市場で、EUVリソグラフィのために製品の純度と試験を実施できる数少ない企業の1つとなっています。

たとえEUVリソグラフィの導入が未定であっても、ゴアは優れた性能と純度を実現するさまざまなケーブル製品を提供しています。この中には、ハイフレックスケーブル、高データレートケーブル、マイクロウェーブ/RFテストケーブルなどがあり、処理装置、試験・測定、接着の用途で使われます。

純度に基づくラインアップ

半導体は極小サイズであるため、わずかな汚染でも性能に悪影響を及ぼす可能性があります。

ゴアの材料はクリーンな半導体加工プロセス維持に貢献します。PTFEを使用したゴアの材料は、化学的に不活性で、極めて広い温度範囲で使用でき、耐用性に優れています。一般的な製品に使用されている材料よりも全般的な小型軽量を実現しており、プロセスの歩留まり改善とダウンタイムの削減、さらにはコスト削減にも貢献します。

ゴアは、ケーブルやケーブルアセンブリのほかにも、次のような製品を提供しています。

  • 超高純度水、高純度化学薬品、プロセスユースポイント向けの高フロー高リテンション液体フィルター: これらのフィルターは、液体精製プロセスのインテグリティーを、製造地点からユースポイントまたは流通地点に至るまで改善します。また、プロセスの効率性を損なうことなく、リテンション機能向上のためのフィルター交換も簡単に行うことが可能です。
  • ディスクドライブ用微粒子フィルター:携帯電話、全地球測位システム(GPS)、ノートPCなどを微粒子、蒸気、化学薬品から積極的に保護します。
  • マイクロフィルトレーションメディア(メンブレンおよび原反):数多くのフィルター筐体システムに統合することができ、現在のマイクロエレクトロニクス業界のフィルターにおける最高の試験性能を実現しています。
  • シートガスケット、パイプガスケット、ガスケットテープ、ゴア® ジョイントシーラントなどのシールドソリューション:どれも100% ePFTE製で、クリープと低温フローに対して最高の耐性を実現しており、適用箇所においてプロセスの封止を維持します。

ゴアは30年以上にわたって、技術イノベーションにおける世界の主要企業の重要なパートナーを務めてきました。そして、製造プロセスにおいて求められる確かな純度を、私たちは提供してきました。スマートフォンやウェアラブル機器の小型化に伴って半導体の極小化が求められるなど、半導体業界は技術トレンドの変化への対応が求められています。ゴアもイノベーションを継続し、製品の小型化と収益の拡大を目指すテクノロジー企業にとって必要不可欠な製品やサポートを提供していきます。