半導体生産設備向けGORE® 高屈曲フラットケーブル
ゴアの高屈曲フラットケーブルは、要求の厳しい半導体設備のアプリケーションにおいて、位置精度、ケーブル管理、および信号の整合性を向上させるために、高水準の清浄度とスムーズな動作を提供します。また、軽量のモーション制御ケーブルで、ケーブルトラックのかわりに半導体製造のスループットと歩留まりを向上してメンテナンスとトータルコストを低減するのに役立ちます。
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半導体アプリケーション向けのゴア® 高屈曲ケーブルは、高い屈曲性能と長期的信頼性を提供し、影響を受けやすいクリーンルーム、真空環境、ESDに最適です。
製品概要
複雑な環境における信号品質
さまざまな要素の絡み合うクリーンルーム環境や真空環境で使用する半導体生産設備のフラットケーブルには、清浄度、耐久性、信頼性が不可欠です。また、ケーブルには、素早い動作能力と高い屈曲寿命性能を発揮すると同時に、信頼性の高い信号伝送を高速で行うことが求められます。
ゴア® 高屈曲フラットケーブルは、信号品質の改善と耐久性の強化を実現し、あらゆるケーブルトラックで安心して使用できます。耐久性の高いケーブルで、歩留まりの改善が可能になり、粉塵の発生が抑えられると同時に、高精度自動機用途における屈曲寿命が長くなります。
発塵・アウトガスが最少レベル
オートメーション設備のケーブルが動き、屈曲し、ケーブルキャリアに擦れると、ケーブルの構成材料から粉塵が発生し、クリーンルーム環境を汚染して繊細な部品に損傷を与えることがよくあります。ゴア® 高屈曲フラットケーブルは、VDIガイドライン2083およびISO14644-1に定められた確率計算法に基づき、ドイツのフラウンホーファー研究機構によってISO14644-1のクラス1クリーンルーム用途に認定されています。
ゴアの高屈曲フラットケーブルはアウトガス性が非常に低いため、真空環境で行われる高度な検査・測定などの繊細なプロセスを保護でき、最適な結果が得られます。
フラウンホーファー研究機構によるクリーンルーム環境のケーブル発塵調査の詳細をご確認ください。
ケーブル管理の改善
ゴア® 高屈曲フラットケーブルは、ケーブル管理を大きく改善させてトータルコストを大幅に削減できます。屈曲寿命は2000万回を超えることが確認済みで、信頼性の高い信号品質でデータを伝送できます。また、フラットな構造のため従来型のケーブルチェーンの仕切り板が不要となり、ケーブルシステムの総重量低減や、より小型のフレキシブルケーブルチェーンの使用が可能となります。
フラットケーブルとラウンドケーブルのサイズを比較すると、ゴアのフラットケーブルに使用されている軽量で耐久性のある材料は、厚みが多くのラウンドケーブル材料の2分の1～3分の1で、UL規格の安全性と難燃性の基準も満たしています。確かな屈曲寿命を備え、曲げ半径が小さいゴアの屈曲ケーブルは、取り付けが非常に容易で、安心してシステム設計ができる性能特性を有しています。
用途
特長と利点
継続的に厳しい条件で運用できるよう、ゴア® 高屈曲フラットケーブルは、以下を始めとする独自の特長：
- フラットケーブル構造でケーブルチェーンが不要
- 低摩擦で発塵しない材料
- アウトガスのない材料を利用可能
- 耐熱性があり化学的に不活性な材料
屈曲耐久性の高いゴアのケーブルには以下のような多くの利点があり、半導体オートメーション設備で高性能を実現：
- スループットと歩留まりの上昇
- メンテナンス、ダウンタイム、総コストの低減
- 完全オーダーメイドのソリューション
- 信頼性の高い信号品質
- クリーンルームおよび真空環境におけるISOクラス1認定を取得
オートメーション設備にゴアの高屈曲フラットケーブルを採用するメリットについてお考えのお客様は、お問い合わせください。ゴアの製品がどう役立つかを詳しくご説明いたします。
技術仕様
以下の値は、クリーンルームおよび真空環境における半導体生産設備向けゴア® 高屈曲フラットケーブルの電気的、機械的、環境的性能を示します。
| 電気的/ 機械的/ 環境的特性 | 値 |
|---|---|
| 最大加速度a g (m/sec2) | 4.0 (40) |
| 速度 m/sec | 4.0 |
| ジャケット材料 | 延伸PTFE複合材 |
| ジャケットの色 | 白 |
| ケーブル種類 | 信号、電力線、光ファイバー、圧力空気 |
| 最大ストローク長 mm (in) | 500 (20) |
| 総幅 mm (in) | 300 (12) |
| 最小曲げ半径 mm (in) | 50 (2) |
| 屈曲耐久性（サイクル）（曲げ半径50mmで最大加速4G） | > 2000万 |
| 温度範囲 ℃ | -40～+200 |
| 清浄度クラス（ISO14664-1） | 1 |
| 発塵率b % (ISO14664-1 / VDIガイドライン2083) | < 0.1 |
| アウトガス量 mBar L/sec cm2 (AMUc) H20 CxHyv CxHynv | < 6 x 10-10 < 1 x 10-11 (< 100) < 1 x 10-12 (> 100) |
a.これ以上の加速度と速度が求められる用途については、ゴアの担当者にお問い合わせください。
b.フラウンホーファー研究機構によるクリーンルーム環境のケーブル発塵調査に関する詳細は、gore.com/particulationでご覧いただけます。
c.AMU＝原子質量単位。
カスタマイズとご購入について
長寿命の屈曲ケーブルソリューションで業界をリードするゴアが、電線、信号線やエアー用チューブを統合したフラットケーブルアセンブリをご用意いたします。お客様の仕様に合わせてクリーンルームや真空環境向けの高屈曲ケーブルをカスタマイズさせていただきます。
ゴアのオンライン設計ツール（英語）から、業界で一般的な各種部材を選んで高屈曲ロボットケーブルを構成できます。お問い合わせフォームよりご連絡ください。営業担当者よりご連絡させていただきます。
ご利用の設備固有のニーズを満たす屈曲ケーブルの設計が必要な場合や、ゴアの標準タイプのロボットケーブルをご注文の際は、お問い合わせください。加速度と速度の上限オプションについてもご案内いたします。
関連資料
半導体アプリケーション向け
GORE® 高屈曲ケーブルポートフォリオ
データシート, 1.47 MB
Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 751.38 KB
最新ニュース
現在コロナ禍が続いていることから、IMS2020はライブストリーミングを伴うバーチャルでの開催へ変更になりました。このシンポジウムの主なテーマには5Gコネクティビティがあり、ゴアは、信頼性の高い5G試験向けマイクロウェーブ/RFテストアセンブリのラインアップを紹介します。ゴアのケーブルアセンブリは、ばらつきが少なく安定した性能を長期間維持できるため、精度と信頼性の高い試験が実施できることをご説明いたします。
本製品は、工業製品に限定してご使用ください。
食品、医薬品、化粧品または医療機器の製造、加工、包装工程にはご使用いただけません。
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