高水準の清浄度・耐久性・性能
ゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル & ケーブルアセンブリは、より高度な微細化に対応できる高い加工精度と清浄性を備えています。これにより、歩留まり・品質・処理速度の向上に必要な安定した動作を維持できます。高純度のリソグラフィ工程や高真空用途においても、長距離で高速データを伝送しながら信号完全性を維持できます。さらに、精密で再現性の高い終端接続を実現します。
高真空環境向けカスタム設計
固定用途向けに設計されたゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル & ケーブルアセンブリは、高真空環境で求められる極めて厳しい要求に対応しています。特長は次のとおりです。
- 低発塵・低汚染・低アウトガス材料
- 化学的に不活性で、耐熱性に優れた材料
- 高い柔軟性を備えたラウンドケーブル構造
最終仕様のケーブル & ケーブルアセンブリは、リソグラフィ用途の装置メーカーにとって、ほかのリソグラフィ用ケーブルにはない次の利点があります。
- 高純度を求めるEUV清浄度グレード1仕様に適合
- より高度な微細化を支える高い精度と清浄度
- 長距離でも優れた信号完全性を維持し、高データレート伝送に対応
- 小さく柔軟な曲げ半径で取り付けやすく、正確かつ信頼性の高い終端接続が可能
- 歩留まりと生産性向上の要求に応える高い信頼性
- メンテナンスやダウンタイム、トータルコストを低減し、EUV装置の稼働時間の向上に貢献
ゴアは、製造から最終試験までの全工程で厳格な洗浄プロセスを実施しています。こうした取り組みにより、主要な性能項目で求められる仕様を実現します。
EUVリソグラフィ工程におけるニーズ拡大に対応
先進的なEUV（極端紫外線）リソグラフィシステムは、現在の半導体製造基準に対応する高い純度を維持する高真空環境下で、搬送、露光、イメージングなどの高度な工程を統合的に実行します。
これらのシステムの中核である投影光学系ボックス（POB）および照明光学系では、光学アセンブリ工程にゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル & ケーブルアセンブリが使用されています。
光は、複雑なミラー構成を通ってレチクルからウェハへ伝送されます。この光学系がレチクルマスクのパターンをチップサイズまで縮小します。
半導体製造プロセス全体を改善するゴアのテクノロジー
リソグラフィやウェハ洗浄、計測・検査から先端パッケージング、SoCテストまで。多くの重要な工程において、ゴアの幅広い技術とソリューションがどのように活用されているかをご覧ください。
技術情報
以下の表に、リソグラフィ用ゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブルの機械的特性および環境耐性を示します。
| 機械/環境特性 | 値 |
|---|---|
ジャケット材料 | PTFEおよびフッ素ポリマー |
ジャケット色 | 白および不透明 |
ケーブル種類 | 信号および電力 |
最小曲げ半径 | > 10 × OD |
使用温度範囲a °C | -20～+260 |
清浄度クラス（ISO14664-1） | 1 |
アウトガス mBar L/sec cm2 | |
H2O (AMUb 18) | 6.00E-10 |
CxHyv（揮発性CxHy） (AMUb 45-100) | 2.00E-12 |
CxHynv（不揮発性CxHy） (AMUb 101-200) | 5.00E-13 |
水素誘起アウトガス（HIO） | 適用 |
禁止物質 | 適用 |
パーティクルフリー | 適用 |
認証 | UL |
a. 用途や使用条件により異なります。
b. AMU = 原子質量単位
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本製品は、一般工業用途に限定してご使用ください。
食品、医薬品、化粧品、医療機器の製造、処理、または包装作業にはご利用いただけません。