GORE® トラックレス高屈曲ケーブル半導体製造装置用

トラック不要のケーブルソリューションでスループットを向上

ゴア® トラックレス高屈曲ケーブルは、標準ジャケットと帯電防止ジャケットの2種類をラインアップ。装置の設置スペースを最小化しながら、スループットと歩留まりの向上、メンテナンス負荷とトータルコストの削減を実現します。発塵を抑えてクリーンな環境を維持するとともに、静電気放電（ESD）による製品不良のリスクも低減します。

確かな信頼性とコスト削減を支えるケーブルソリューション

ゴア® トラックレス高屈曲ケーブルは、半導体製造装置の信頼性と性能向上を支える、さまざまな特長とメリットを備えています。

1,000万サイクルを超える屈曲耐久性
低摩擦・低発塵で、耐熱性と化学的安定性に優れた材料を採用
不具合の発生を抑えながら、高速かつ安定した信号伝送を実現
振動を抑えた滑らかな直線動作により、位置決め精度を向上
自立構造により、トラック不要のシンプルな配線設計が可能
フラットで軽量な構造により、装置の軽量化と容易な取り付けを実現
スループットと歩留まりの向上、メンテナンス負荷と所有コストの削減
マウンティングクランプを含め、ケーブル構成はフルカスタマイズ可能

ESD対策が求められる環境には、帯電防止タイプをご用意しています。

ノンカーボン系の静電気拡散性ジャケットが静電気の帯電を抑制
パーティクルを引き寄せにくく、摩擦帯電によるノイズ干渉も低減
ESDに起因する不具合や製品損傷のリスクを大幅に低減
接地システムや追加設備を必要としない独立型設計
校正・保守の手間がかかるイオナイザーが不要
標準タイプの高屈曲フラットケーブルと互換性があり、既存設備への後付けも容易

用途

高い屈曲耐久性を備えたゴア® トラックレスケーブル（標準タイプ）は、半導体製造のさまざまな工程で採用されています。

クリーンルームのオートメーションシステム
先端パッケージング
ウェハ計測
自動光学検査（AOI）
半導体加工
精密位置決め（リニアモーション）
ピックアンドプレイス実装
ウェハハンドリング
フラットパネルディスプレイ（FPD）製造
CMOSイメージセンサー（CIS）パッケージング
レンズ製造

ESD対策効果が実証されている帯電防止タイプは、静電気リスクが懸念される用途で広く採用されています。

ESDの影響を受けやすい製造設備
電子部品パッケージング
先端ボンディング
ピックアンドプレイス実装
後工程の製造・検査
レンズ製造

製品ラインナップ

トラックレス高屈曲ケーブル: 標準タイプ

軽量な自立構造により、キャリアトラックやチェーンが不要になり、取り付けの簡略化と装置の軽量化、設置スペースの削減を実現します。高速動作時でも振動を抑えた滑らかな直線動作と安定した信号伝送により、高い位置決め精度を維持します。

トラックレス高屈曲ケーブル: 帯電防止タイプ

ケーブルジャケットにノンカーボン系の静電気拡散性材料を採用し、摩擦帯電や電圧の蓄積を抑制することで、ESD耐性を高めています。パーティクルの付着や表面電荷の蓄積を抑え、高価なイオナイザーも不要。不具合や製品損傷の低減に貢献します。追加設備不要で単体運用が可能なほか、既存の標準タイプからの切り替えも容易です。

ケーブル設計をカスタマイズする

トラックレス高屈曲ケーブルを用途に合わせてカスタマイズする際は、こちらの設計ガイドをご活用ください。

半導体製造プロセスを支えるゴアのテクノロジー

半導体製造の重要プロセスを、ゴアのソリューションで。リソグラフィ、ウェハ洗浄、計測、先端パッケージング、SoCテストへの対応事例をご覧ください。

技術情報

以下に、クリーンルームおよびESD対策環境における電気的・機械的・環境的性能の仕様値を示します。

電気/機械/環境特性	標準タイプ	帯電防止タイプ
最大加速度 g (m/sec²)	4.0 (40)	4.0 (40)
速度 m/sec	4.0	4.0
表面抵抗 Ω（ASTM-D257）45%RH、23°C	—	≤ 2 × 10⁹
電荷減衰時間の典型値^a msec（DIN-EN 1149-5; 2008-04）45%RH、23°C	—	≤ 4
電圧上昇^a V（PLFWI-2730で最大1,000サイクル）	—	<< 100
使用相対湿度 RH%	45±15	45±15
ジャケット材料	延伸ポリテトラフルオロエチレン（ePTFE）複合材	ePTFE複合材（ノンカーボン系静電気拡散性材料処理済み^b）
ジャケット色	白	白
ケーブル種類	信号、電力線、光ファイバー、空圧チューブ	信号、電力線、光ファイバー、空圧チューブ
最大自立ストローク長^c mm (in)	1,500 (60)	1,500 (60)
総幅^d mm (in)	最大105 (4.1)	最大105 (4.1)
最小曲げ半径^d mm (in)	50 (2)	50 (2)
屈曲寿命サイクル（曲げ半径50 mmで最大加速4^G）	> 1,000万	> 1,000万
温度範囲 °C	-40～+80	-40～+80
清浄度クラス^e（ISO14664-1）	1	1（最大100万屈曲サイクル）
認証^f	UL、CE	—
発塵率^g %（ISO14664-1/VDIガイドライン2083）	< 0.1	< 0.1

a. 結果は条件によって異なる場合があります。試験方法の詳細は、ご要望に応じて提供いたします。
b. ゴアの特許の詳細はpatents.justia.com/patent/9534159をご参照ください。
c. ベースプレートが必要です。
d. 標準構成のみ。最小曲げ半径は特定の構成によって異なる場合があります。
e. ESD防止トラックレスケーブル、GKT-FTFH-01-A、シリアルナンバー14111802に基づきます。評価レポートはご請求に応じてご提供します。
f. ULスタイル21090: 80°C、圧力空気管はUL認定ではありません。
g. フラウンホーファー研究機構による調査の詳細はgore.com/particulationをご参照ください。