半導体製造装置用ゴア^® サーマルインシュレーション

ゴアは世界中のすべてのお客様に、一貫した性能をお届けすることをお約束します。その実現のために、グローバルリソースと専門技術を駆使し、徹底した品質管理体制を整えています。

ゴアでは、当社製品に関わるすべての法規制を確実に遵守できるよう継続的に取り組んでいます。

サプライヤーと連携し、ペルフルオロオクタン酸（PFOA）のサプライチェーンからの排除にも取り組んできました。当社製品はEU REACH規則（EU 1907/2006およびEU 2019/2021）に適合しています。

A. 半導体製造では、より高温のプロセスを採用する装置や工場が増えており、高温環境に対応した断熱材の採用がこれまで以上に重要になっています。ゴア^® サーマルインシュレーションは、最高280℃の連続使用環境でも脆化することなく、優れた断熱性能を維持できるよう設計されています。さらに、プロセスにおけるエネルギー消費を最大で35%削減します。

A. できます。薄型で高い追従性を備えたゴア^® サーマルインシュレーションなら、厚さ2.5 mmの1層で、厚さ約6 mmのガラス繊維断熱材と同等の表面温度を実現します。厚さを半分以下に抑えながら同等の断熱性能を発揮するため、1/4インチ径のフォアラインに最適です。

A. 結露は、ガスライン内の温度差、具体的には加熱されたガスが低温部を通過する際に発生します。結露の発生を防ぐには、精密な温度制御を維持することが不可欠です。ゴア^® サーマルインシュレーションは、極めて低い熱伝導率と高度に均一な材料構造により、従来の断熱材では熱が逃げやすい曲がり部や継手部を含め、ガスライン全長にわたって温度安定性を向上させます。

A. 一つの方法は、着脱するジャケットヒーターに使用されている断熱材を確認することです。エアロゲルが含まれている場合、クリーンルームの汚染リスクが高まります。これは、着脱時にジャケットヒーターを曲げることで、縫製部の針穴から粒子が吹き出して飛散するおそれがあるためです。ゴア^® サーマルインシュレーションでは、エアロゲルを複合構造内に完全に封止しているため、このリスクを低減します。

A. 一つの方法は、すべてのフォアライン、装置内ガス供給ライン、排気ラインのジャケットヒーターに、優れた断熱性能を備えたゴア^® サーマルインシュレーションを採用することです。実地試験では、ゴア^® サーマルインシュレーションはガラス繊維と比べて最大35%、エアロゲルマットと比べて9%以上の省エネルギー効果を実現することが確認されています。熱損失とエネルギー消費の低減は、サステナビリティの向上につながります。また、本製品を採用したジャケットヒーターは、より精密な温度制御と優れた温度安定性を実現し、歩留まりの向上も期待できます。