複雑な環境でも、清浄性・耐久性・信頼性を向上
GORE® 高屈曲フラットケーブルは、半導体および産業オートメーション用途において、高速・高加速度動作、信号品質の向上、滑らかな動作、高い清浄性を実現します。軽量なフラットケーブル設計により、発塵、摩耗、アウトガス、コンタミネーションを抑制し、スループットおよび歩留まりの向上、メンテナンス負荷とトータルコストの低減に貢献します。
GORE® 高屈曲フラットケーブルは、半導体製造や産業オートメーション用途において、装置の信頼性を支える多様な特長と利点を備えています。
- 数百万回におよぶ屈曲試験で実証された高い屈曲寿命
- 低摩擦・低発塵・低アウトガス材料を採用
- 極端な温度や振動、過酷な化学薬品に対する優れた耐性
- 信号品質を維持しながら高速データ伝送を実現
- フラットで自立可能な構造により、ケーブルチェーンや仕切り、棚が不要
- 高い柔軟性と小さな曲げ半径により、取り付けが容易
- 軽量素材を採用することでケーブルシステム全体の重量を低減
- スループットや歩留まり、生産性向上へのニーズに対応
- メンテナンス負荷、装置のダウンタイム、総所有コストの低減
静電気放電（ESD）環境で使用される半導体製造装置向けに、帯電防止ケーブルには次のような特長と利点があります。
- ノンカーボン系の静電気拡散性ジャケット材料が静電気の帯電を防止
- パーティクルを引き寄せず、摩擦帯電ノイズによる干渉も抑制
- ESD関連の不具合や製品損傷を大幅に低減
- グラウンドシステムや追加設備を必要としない独立型ケーブルシステム
- 校正や保守にコストがかかるイオナイザーが不要
- ゴアの標準高屈曲フラットケーブルとの互換性があり、後付けが容易
半導体製造装置
リソグラフィ
工業・製造業
実証済みの清浄性と耐久性を備えたGORE® 高屈曲フラットケーブルは、幅広い用途で安定した性能を発揮します。
| 用途 | 標準ケーブル | 帯電防止ケーブル | ケーブル & ケーブルアセンブリ | IDCリボン状ケーブル |
|---|---|---|---|---|
プラットフォーム | 半導体製造装置 | リソグラフィ | 産業オートメーション | |
先端パッケージング設備 | ✓ | ✓ |
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後工程製造・検査プロセス |
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| ✓ |
クリーンルーム & 真空オートメーション & ロボティクス |
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CMOSイメージセンサー（CIS）パッケージング設備 | ✓ |
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CMP設備 | ✓ |
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電子部品パッケージング設備 |
| ✓ |
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ESD対策が求められる製造設備 |
| ✓ |
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eScanマルチ電子ビームシステム |
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| ✓ |
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前工程のウェハ検査 | ✓ |
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| ✓ |
フラットパネルディスプレイ（FPD）製造設備 | ✓ |
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直動ステージ | ✓ |
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| ✓ |
レンズ製造設備 | ✓ | ✓ |
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マスク検査システム |
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| ✓ |
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光学計測システム |
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| ✓ |
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ピックアンドプレース設備 | ✓ | ✓ |
| ✓ |
レチクルハンドラー、マスク & ステージ |
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| ✓ |
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半導体自動光学検査（AOI） | ✓ |
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| ✓ |
ウェハのハンドリング | ✓ |
| ✓ |
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ウェハ計測機器 | ✓ |
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ウェハステージ |
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| ✓ |
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半導体製造装置用GORE® 高屈曲フラットケーブル
自立型で軽量なゴアのケーブルは、あらゆるエナジーチェーンやケーブルトラックににおいて高い信頼性でご使用いただけます 。信号品質の向上と低発塵・低アウトガスを両立し、2,000万回を超える屈曲寿命を実現します。さらに、重量や機械的負荷を低減するとともに、摩擦帯電や電圧の蓄積を抑制します。
- 標準タイプ（クリーンルーム & 真空環境）
- 帯電防止タイプ（ESD対策が求められる環境向け）
リソグラフィ用ゴア 高屈曲ケーブル & ケーブルアセンブリ
ゴアの高耐久性ケーブルは、極端紫外線（EUV）と深紫外線（DUV）、次世代の高NA（High-NA EUV）リソグラフィーシステム向けに設計されています。高速データ伝送と高加速度動作に対応し、低アウトガス・低発塵を実現。屈曲寿命は2,000万回を超えます。さらに、RGA（残留ガス分析）試験により高い清浄性を確保しています。
産業オートメーション用GORE® 高屈曲IDCリボン状ケーブル
ゴアのIDC（圧接端子）リボン状ケーブルは、高速自動化装置や高負荷環境下でも、最大1億回の連続屈曲寿命を発揮します。耐久性が高く軽量で、低アウトガス特性を備え、ケーブルの重量や揺れを低減。さらに、摩耗や振動、極端な温度にも耐える設計です。
技術情報
| 電気/機械/環境特性 | 標準タイプ | 帯電防止タイプ |
|---|---|---|
最大加速度 g (m/sec2) | 4.0 (40) | 4.0 (40) |
速度 m/sec | 4.0 | 4.0 |
表面抵抗 Ω (ASTM-D257) 45%RH、23°C | — | ≤ 2 × 109 |
電荷減衰時間の典型値a msec (DIN-EN 1149-5; 2008-04) 45%RH、23°C | — | ≤ 4 |
電圧上昇a V（PLFWI-2730で最大1,000回） | — | << 100 |
使用相対湿度 %RH | 45±15 | 45±15 |
ジャケット材料 | 延伸PTFE複合材 | 延伸PTFE複合材（ノンカーボン系静電気拡散処理済みb） |
ジャケット色 | 白 | 白 |
コア種別 | 信号、電力、光ファイバー、圧力空気 | 信号、電力、光ファイバー、圧力空気 |
最大自立ストローク長c mm (in) | 500 (20) | 500 (20) |
総幅d mm (in) | 最大300 (12) | 最大300 (12) |
最小曲げ半径d mm (in) | 50 (2) | 50 (2) |
屈曲寿命（曲げ半径50 mm、最大4Gの加速度条件下） | > 2,000万 | > 2,000万 |
温度範囲 (°C) | -40～+200 | -40～+80 |
清浄度クラスe（ISO14664-1） | 1 | 1 |
発塵率f %（ISO14664-1/VDIガイドライン2083） | < 0.1 | < 0.1 |
アウトガスg mBar L/sec cm2 (AMU) H2O CxHyv CxHynv | < 6 × 10-10 < 1 × 10-11 (< 100) < 1 × 10-12 (> 100) | — |
a. 結果は条件により異なる場合があります。試験方法の詳細はお問い合わせください。
b. ゴアの特許の詳細はpatents.justia.com/patent/9534159をご参照ください。
c. ベースプレートが必要です。
d. 標準構成のみ。最小曲げ半径は構成により異なる場合があります。
e. ESD防止トラックレスケーブル（GKT-FTFH-01-A、シリアル番号14111802）に基づく。評価レポートはお問い合わせください。
f. フラウンホーファー研究機構による調査の詳細は、gore.com/particulationをご参照ください。
g. AMU = 原子質量単位
| 電気/機械/環境特性 | 真空 | 非真空 |
|---|---|---|
最大加速度a,b m/sec2 | > 40 | > 40 |
速度a m/sec | > 3 | > 3 |
ジャケット材料 | PTFE | 延伸PTFE複合材 |
ジャケット色 | 白 | 白 |
コア種別 | 信号、電力、空圧、流体 | 信号、電力、空圧、流体 |
最大自立ストローク長 mm (in) | 500 (20) | 500 (20) |
総幅 mm (in) | 130 (5) | 300 (12) |
最小曲げ半径a | > 10 × 100 | > 10 × 100 |
屈曲寿命（曲げ半径50 mm、最大4Gの加速度条件下） | > 2,000万 | > 2,000万 |
温度範囲a °C | -20～+260 | -20～+90 |
清浄度クラス（ISO14664-1） | 2 | 4 |
認証 | UL | UL |
発塵率c %（ISO14664-1/VDIガイドライン2083） | < 0.1 | < 0.1 |
アウトガスd mBar L/sec cm2 H2O (AMUd 18) CxHyv（揮発性CxHy） (AMUd 45-100) CxHynv（不揮発性CxHy） (AMUd 101-200) | 4.00E-09 1.00E-10 6.00E-12 | — |
a. 用途や使用条件により異なります。
b. より高い加速度や速度が求められる場合は、ゴアの担当者までお問い合わせください。
c. フラウンホーファー研究機構による調査の詳細はgore.com/particulationをご参照ください。低発塵仕様に対応しています。
d. AMU = 原子質量単位
| 電気/機械/環境特性 | 26 AWG | 28 AWG |
|---|---|---|
インピーダンス Ω | 110 | 128 |
動作電圧 V RMS | 300 | 300 |
伝播速度（対空気比） % | 85 | 88 |
時間遅延 ns/ft (ns/m) | 1.21 (3.97) | 1.17 (3.84) |
キャパシタンス pF/ft (pF/m) | 9.7 (31.8) | 8.1 (26.6) |
誘電率 | 1.40 | 1.30 |
絶縁材 | PTFE複合材 | PTFE複合材 |
絶縁色a | グレー/グレー | グレー/グレー |
コア種別 | アース、信号、アース | アース、信号、アース |
導体 | ニッケルメッキ、銀メッキ、メッキなし | ニッケルメッキ、銀メッキ、メッキなし |
最小屈曲寿命（サイクル） | 50,000,000 | 100,000,000 |
温度範囲 °C ニッケルメッキ導体 銀メッキ導体 メッキなし導体 | -65～+260 -65～+200 -55～+150 | -65～+260 -65～+200 -55～+150 |
認証 | UL | UL |
a. その他の色もご要望に応じて対応可能です。
b. AMU = 原子質量単位
ドイツのフラウンホーファー研究所の評価により、GORE® 高屈曲フラットケーブルの発塵発生確率は0.1%未満であることが確認されています。クリーンルーム環境での繰り返し屈曲においても、極めて低い発塵レベルを維持します。
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本製品は、一般工業用途に限定してご使用ください。
食品、医薬品、化粧品、医療機器の製造、処理、または包装作業にはご利用いただけません。