ホワイトペーパー：クリーンルーム環境のケーブル発塵調査

ケーブルチェーン内のケーブルからの発塵は、半導体用クリーンルーム環境にとって難しい課題です。数千万サイクルに耐える低発塵ケーブルシステムを実現するためには、システムを設計する際に、可動部品の数と部品同士の摩擦を可能な限り減らす必要があります。

そのため、ゴアはドイツのフラウンホーファー研究機構に委託して、ゴア^® トラックレス高屈曲ケーブルとゴア^® 高屈曲フラットケーブルの発塵レベルの評価・測定を行いました。その結果、ISOの認証を取得したこれらのケーブルは、クリーンルーム環境において繰り返し屈曲されても非常に低い発塵レベルを維持していることが明らかになりました。調査の詳細は、以下のホワイトーペーパーをダウンロードしてご覧ください。