リソグラフィ装置用ケーブルソリューション

高真空環境でのパフォーマンスを追求する

EUV（極端紫外線）・DUV（深紫外線）、特に高NA EUVをはじめとする次世代リソグラフィ技術では、極めて高い精度・清浄度・安定性が求められます。ゴアは、高真空環境向けに自社開発した高性能の静止型ケーブルと高屈曲ケーブルにより、これら先端リソグラフィ技術を支えています。クリーン度クラス1・2・4に適合したケーブルは、低アウトガス性、優れた屈曲性、安定した信号品質を実現。スループット向上やメンテナンス負担の軽減に貢献するとともに、進化し続ける業界の性能基準にも対応します。