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データシート：半導体および電子機器製造プロセス用ゴア®オゾネーションモジュール

シリコンウエハーおよび半導体の洗浄プロセスでは、業界としてオゾン水処理へのシフトが進んでいます。混合薬液よりも環境に配慮されており、廃液処理を必要としないため、低コストで処理することができます。ゴアのオゾネーションモジュールは、今日のマーケットにおいて、高清浄度、無気泡（バブルフリー）、高濃度のオゾン水溶液を生成する唯一のモジュールです。このモジュールは、半導体ウエハー洗浄とフラットパネルディスプレイ（FPD）の製造プロセスを向上させる、信頼性が高く、より環境に配慮したソリューションであることが実証されています。さらに詳しい技術情報については、データシートをダウンロードするか、こちらよりゴアの担当者にお問い合わせください。